产品规格
信号调节 放大
流量/压力范围 30.0 sccm
调整点的输出电压 25 sccm 时,3.4 Vdc
接口类型 直形
系列名称 AWM3000
整个温度范围内的零位 ±100 mV dc
输出温漂 ±5% 读数
流动速率变化 5.0 SLPM/s
可重复性 ±1% 读数
零位 1 Vdc ±0.10 Vdc
响应时间 典型值 1 ms,最大值 3 ms
电源电压 最小值 8.0 Vdc,典型值 10.0 Vdc,最大值 15.0 Vdc
共模压力 25 psi
功耗 典型值 50 mW,最大值 60 mW
工作温度 -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
储存温度 -40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]
介质兼容性 仅干燥气体
重量 10.8 g
冲击 100 g 峰值(5 次下降,6 轴)
描述
同 AWM2000 系列一样,惠斯顿双电桥控制气体流量测量。AWM3000 系列经过放大;因此,该系列可用于增加增益和将电压偏置引入传感器输出。加热器控制电路和传感桥供电电路位于封装电路板上。
警告:
产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量,液体流过传感器时会损坏传感器。
不遵守这些说明可能会导致产品受损。
特性
激光微调提高传感器的互换性
流量传感高达 1.0 SLPM
低差压传感