Ein Beschleunigungssensor (100) weist eine Sensormasse (120), die mittels Federelementen (130) entlang einer Bewegungsachse (x) beweglich über einem Substrat (110) gelagert ist, erste Trimmelektroden (140), die mit der Sensormasse (120) verbunden sind, und zweite Trimmelektroden (150), die mit dem Substrat (110) verbunden und den ersten Trimmelektroden (140) zugeordnet sind, auf. Dabei wird durch die Federelemente (130) bei Auslenkung der Sensormasse entlang der Bewegungsachse eine Federkraft auf die Sensormasse (120) und durch Anlegen einer elektrischen Trimmspannung zwischen den ersten Trimmelektroden (140) und den zweiten Trimmelektroden (150) bei Auslenkung der Sensormasse (120) eine elektrostatische Kraft auf die Sensormasse (120) erzeugt, die der Federkraft entgegenwirkt.