一个加速度传感器(100)有一个传感器质量块(120),由弹簧元件(130)沿一个移动轴线(x)可动的在衬底(110)被安装的方法,第一微调电极(140)与所述传感器质量(120)相连接,第二微调电极(150)与基板(110)和第一连接配平的电极(140)相关联。这里,由弹簧元件(130)在沿着运动轴线上的传感器质量块(120)的弹簧力偏转并通过施加电微调,在第一(140)和第二微调电极张力产生(150)的传感器质量块(120)的静电力偏转时,抵消了弹簧力。

   Ein Beschleunigungssensor (100) weist eine Sensormasse (120), die mittels Federelementen (130) entlang einer Bewegungsachse (x) beweglich über einem Substrat (110) gelagert ist, erste Trimmelektroden (140), die mit der Sensormasse (120) verbunden sind, und zweite Trimmelektroden (150), die mit dem Substrat (110) verbunden und den ersten Trimmelektroden (140) zugeordnet sind, auf. Dabei wird durch die Federelemente (130) bei Auslenkung der Sensormasse entlang der Bewegungsachse eine Federkraft auf die Sensormasse (120) und durch Anlegen einer elektrischen Trimmspannung zwischen den ersten Trimmelektroden (140) und den zweiten Trimmelektroden (150) bei Auslenkung der Sensormasse (120) eine elektrostatische Kraft auf die Sensormasse (120) erzeugt, die der Federkraft entgegenwirkt.